產品詳情
產品描述
X軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列產品包含X、XY可供用戶選擇。該壓電納米定位器是我們高速產品線的一部分（可提供大功率控制器，進行高速運動）。二維產品型號為PS2H45-xx。
PS1H45系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅動元件，利用有限元優(yōu)化的固態(tài)撓性導向系統(tǒng)可確保完美的平移運動。平臺采用了無摩擦柔性機構，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進或連續(xù)掃描等。閉環(huán)版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。
X軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括12/30/45/60μm及可定制其他行程版本，本系列產品包含X、XY可供用戶選擇。該壓電納米定位器是我們高速產品線的一部分（可提供大功率控制器，進行高速運動）。二維產品型號為PS2H45-xx。
PS1H45系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅動元件，利用有限元優(yōu)化的固態(tài)撓性導向系統(tǒng)可確保完美的平移運動。平臺采用了無摩擦柔性機構，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進或連續(xù)掃描等。閉環(huán)版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。
壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現(xiàn)的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上，請使用轉接板轉接。在緊固過程中，應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側向力，這些外力可能會損壞位移臺。
產品特性
—高速運動、直接驅動
—設計小巧緊湊
—閉環(huán)控制
—可堆疊進行XY運動
選配功能
—可定制轉接工裝
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可組維、可定制其他行程
應用領域
—掃描顯微鏡、光纖端面檢測
—干涉儀、測量技術、3D錫膏檢測
—光子、光纖定位、干涉
—納米光刻、納米定位、電化學加工
